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上海ETHERCAT 真空仪表

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上海ETHERCAT 真空仪表

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ETHERCAT 真空仪表

INFICON 是第一家为 真空机生产线提供 EtherCAT 接口的真空计供应商,其一种产品即可涵盖整个真空压力范围。

产品

  • BAG402 中真空至超高真空真空计

  • Edge CDG045D2 1 … 1000 托 / 毫巴

  • Edge CDG100D2 1 … 1000 托 / 毫巴

  • SKY® CDG045D 0.05 ...1000Torr / mbar

  • SKY® CDG100D 0.1 ... 1000 托/毫巴

  • SKY® CDG160D 1 。。。 1000 托 / 毫巴

  • SKY® CDG200D 1 。。。 1000 托 / 毫巴

  • Stripe CDG045Dhs 0.01 ... 1000乇 / 毫巴, 新 10毫乇

  • Stripe CDG100Dhs 0.1 ...1000 托/毫巴

  • PSG55x 大气压至中真空真空计

  • PCG55x 大气压至中真空真空计

  • BPG402-Sx 大气压至超高真空真空计

  • BCG450 大气压至超高真空三合一真空计


  • 测量范围从 5×10-10 mbar 到 2.7×10-2 mbar(3.75×10-10 Torr 到 5×10-2Torr)

  • 出色的可重复性,在 10-8 … 10-2 mbar 工艺压力范围内为 5%

  • 过压检测保护,防止灯丝烧毁

  • 两根长寿命氧化铱灯丝

  • 发射电流选择,降低控制的繁琐

  • 植入校准数据的传感器元件可确保规管的高精准性,并且易于更换

  • 符合RoHS

典型应用

  • 半导体工艺和传送腔室的压强测量

  • 工业镀膜

  • 从低真空到超高真空范围的普通真空测量及控制


规格

类型

1000 。。。 500 Torr / mbar

200 。。。 1 Torr / mbar

0。5 。。。 0。1 Torr / mbar



精度 (1)

% of reading

0.2

0。2

0.4

温度效应




零点

percent FS/°C

0。0025

0.0025

0。005

满量程

% of reading / °C

0.02

0。02

0.02

压力,最大

kPa (absolute)

400

260

130

分辨率

percent FS

0。003

0.003

0。003

最低读数

percent FS

0.01

0。01

0.01

建议的最低读数

percent FS

0.05

0.05

0。05

建议的最低控制压力

percent FS

0。5

0.5

0。5

温度




运行(周围环境)(5)

°C

+10 … +50



在法兰处烘烤

°C

≤110

≤110

≤110

贮存

°C

–20 … +65

–40 … +65

–40 … +65

电源电压


+14 … +30 VDC or ±15 V (±5%)

+14 … +30 VDC or ±15 V (±5%)

+14 … +30 VDC or ±15 V (±5%)

功耗




加热时

W

≤15

≤15

≤15

运行温度

W

≤10

≤10

≤10

输出信号(模拟)

V (dc)

0 … +10

0 … +10

0 … +10

反应时间 (2)

ms

30

30

130 / 30 (3)

保护等级


IP 40

IP 40

IP 40

标准




CE 合规


零号件

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