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潘宁冷阴极电离真空计

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潘宁冷阴极电离真空计

  • 详细内容
  • 规格
  • 零件号
  • 耗材

潘宁冷阴极电离真空计

这款坚固的潘宁冷阴极电离真空计可准确测量 1 x 10-2 毫巴到低至 1 x 10-9 毫巴的高真空压力。 还有现场总线可供选择。



产品

  • PEG100 中真空至超高真空真空计

益处

  • 测量范围广,从 1 x 10-9 至 1 x 10-2 毫巴(7.5 x 10-10 至 7.5 x 10-3 托)

  • 全金属冷阴极传感器(潘宁),带陶瓷馈入装置

  • 创新的电极几何形状提供卓越的点火属性

  • 等离子点火后降低的高压和钛阴极板可减少污染危险,即使在有氩气的溅射运行中

  • 阳极环和钛阴极可轻松进行清洁或更换

  • 最小化真空计附近的磁场强度

  • 用于电源接通和等离子体点火的 LED 指示器

  • 对数模拟输出信号

  • 现场总线接口(Profibus DP、DeviceNet)允许使用网络通信将真空计轻松集成到真空系统中

典型应用

  • 高真空压力监控

  • 蒸发溅射系统

  • 高真空范围内的一般真空测量和控制


规格

类型

PEG100



测量范围

1 x 10-9 to 1 x 10-2

精度


10-8 至 10-4 毫巴

% of reading

±30

压力,最大(绝对)

bar

10

温度


运行(环境)

°C

+10 to +50

贮存

°C

-20 to +75

无电子设备,烘烤

°C

350

带电子元件,在法兰处烘烤

°C

70

供应


电压

V (dc)

14.5 to 36

消耗,最大

W

<2

输出信号模拟


输出信号

V

0 to 10.6

测量范围

V

0。66 to 10

电压与压强之间的关系

volts per decade

1.333

连接器


FCC 68, female, 8 pin (shielded)

电缆长度,最大(模拟)

m (ft。)

100 (330)

暴露于真空的材料


Stainless steel, CrNi, AI2O3, NiFe, Mo, Cu, Ni, Ti

内部容积

cm³ (in.³)

21 (1。28)

重量,接近

g

500

保护类型


IP40

DeviceNet™


设备类型


generic

显示对等网络传讯


no

I / O 对等传讯


no

配置一致性值


no

默认节点恢复


no

波特率

kBaud

125 / 250 / 500

主板 / 扫描器


no

I / O 从属传讯: 位触发


yes

I / O 从属传讯: 轮询


yes

I / O 从属传讯: 周期


yes

I / O 从属传讯: 状态改变 (COS)


yes

DeviceNet™ 电源

V (dc)

11 to 25

DeviceNet™ 连接器


Phoenix Combicon, 5 pin

Profibus DP


支持的波特率(自动检测)

kBaud

9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 / 1500

扩展的用户参数数据

byte

5

配置: 输入输出数据数量


2

同步模式和冻结模式


Yes

Profibus 的连接器


D-sub, 9 pin


零件号

PEG100
零件号明细
351-002PEG100-P 规管
351-003PEG100D 型真空计
351-004PEG100-D Penning Gauge; DN40CF-F
351-005PEG100-P 规管


备件

PEG100
零件号明细
351-490阴极片


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