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反磁控管皮拉尼真空计

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反磁控管皮拉尼真空计

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  • 规格
  • 零件号
  • 耗材


反磁控管皮拉尼真空计

反磁控管和皮拉尼真空计原理组合可测量从大气压到 5 x 10-9 毫巴的高真空压力

产品

  • MPG40x 大气压至超高真空真空计


益处

  • 复合真空计 – 倒置磁控管与皮拉尼

  • 测量范围广,从 5 x 10-9 毫巴到大气压

  • 不会出现单丝烧毁的现象

  • 卓越的点火属性

  • 易于清洁

  • FPM 或金属密封馈入装置

  • 高压 LED 指示灯

  • 对数模拟输出信号

典型应用

  • 高真空压力监控

  • 蒸发系统和溅射系统的基本压力

  • 中高真空范围内的一般真空测量和控制


规格

类型

MPG400 FPM sealed

MPG401 metal-sealed



测量范围(空气,N2

5 x 10-9 … 1000

5 x 10-9 … 1000

精度 (N2)



1 x 10-8 … 100 毫巴

% of reading

≈±30%

≈±30%

可重复性



1 x 10-8 … 100 毫巴

% of reading

≈±5%

≈±5%

安装定位


any

any

容许压力

bar (absolute)

≤10 (limited to inert gases)

≤10 (limited to inert gases)

容许温度



运行(环境)

°C

+5 … +55

+5 … +55

贮存

°C

–40 … +65

–40 … +65

烘烤 (1)

°C

150

150

单丝温度(皮拉尼)

°C

120

120

电源电压



真空计上

V (dc)

+15 … +30

+15 … +30

缆线最长的电源装置 (2)

V (dc)

+16 … +30

+16 … +30

波纹

V (p-p)

≤1

≤1

功耗

W

≤2

≤2

可连接的保险丝

AT

≤1

≤1

输出信号(测量信号)



电压范围

V

0 … +10.5

0 … +10.5

测量范围

V

+1。82 … +8。6

+1.82 … +8.6

电压与压强


logarithmic, 0.6 volts per decade

logarithmic, 0。6 volts per decade

错误信号



无电源

V

<0.5

<0.5

皮拉尼传感器,单丝断裂

V

>9.5

>9.5

输出电阻

2 x 10

2 x 10

最小负载电阻

kΩ

10, short-circuit proof

10, short-circuit proof

反应时间



p > 10-6 毫巴

ms

<10

广东11选5走势图<select class="input-small" name="ModelDDL" style="font-size: 21.6px; margin: 0px 0px 0px -8px; v

零件号

MPG400 FPM sealed
零件号明细
351-010MPG400 真空计
351-011MPG400 DN 40 ISO-KF
351-012MPG400 DN 40 CF-F
MPG401 metal-sealed
零件号明细
351-020MPG401 DN 25 ISO-KF
351-021MPG401 DN 40 ISO-KF
351-022MPG401 DN 40 CF-F
351-023磁屏蔽


附件

MPG400 FPM sealed
零件号明细
351-023磁屏蔽
MPG401 metal-sealed
零件号明细
351-023磁屏蔽


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