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贝阿德-阿尔珀特皮拉尼真空计

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贝阿德-阿尔珀特皮拉尼真空计

  • 详细内容
  • 规格
  • 零件号
  • 耗材

贝阿德-阿尔珀特皮拉尼真空计

广泛测量从超高真空到大气压的复合规管技术


产品

  • BPG400 大气压至超高真空真空计

  • BPG402-Sx 大气压至超高真空真空计

 

益处

  • 测量范围非常广,从 5×10-10 毫巴至大气压(3.8×10-10 托至大气压)

  • 10-8 … 10-2 毫巴过程压力范围内 5% 的优良可重复性

  • 皮拉尼联锁保护贝阿德-阿尔珀特系统在高压操作下单丝过早烧毁和过度污染

  • 使用寿命长的氧化钇铱丝

  • 备有可选的图形显示屏和现场总线接口

  • 高真空皮拉尼自动调节,减少操作员干预

  • RoHS 合规

  • 低真空和超高真空范围内的一般真空测量和控制

典型应用

  • 对半导体过程和传输腔室的压力测量

  • 工业镀膜

  • 低真空和超高真空范围内的一般真空测量和控制


规格

类型

BPG400



测量范围(空气、O2、CO、N2

5×10-10 … 1000

精度


10-8 … 10-2 毫巴

% of reading

±15

可重复性


10-8 … 10-2 毫巴

% of reading

5

除气 (1)


p < 7.2 × 10-6

mbar

electron bombardment, max。 3 min

压力,最大

bar (absolute)

2

温度


运行(环境)

°C

0 … +50

贮存

°C

-20 … +70

在法兰处烘烤,有延伸件

°C

150

在法兰处烘烤,无延伸件

°C

80

移除烘烤电子设备

°C

150

电源电压

+20 … +28

输出信号模拟


输出信号

V

0 … +10

测量范围

V

+0。774 … +10

电压与压强

volts per decade

0。75

错误信号

V

0.3 / 0.5

最小负载电阻

kΩ

10

接口(数字)(2)


RS232C

电气连接


D-Sub, 15-pin, male

电缆长度,最大 (3)

m (ft.)

100 (330)

暴露于真空的材料


Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass

内部容积 KF / CF

cm³ (in.³)

24 (1.46) / 34 (2.1)

重量 KF / CF

g

285 / 550

保护等级


IP30

Profibus DP


波特率

9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500

地址


2 switches (address 00 - 127) or network programmable

数字功能


read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas function, Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information

模拟功能


0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B

设定点继电器: 设定点数量


2

设定点继电器: 范围

mbar

1×10-9 … 100

设定点继电器: 继电器触点


n.o., potential free

设定点继电器: 滞后

% of reading

10

设定点继电器: 触点额定值

60

Profibus DP 连接器


D-Sub, 9-pin, female

BPG(模拟输出、电源电压、设定点)连接器


<select class="input-small" name="Mod

零件号

BPG400
零件号明细
353-500BPG400 规管
353-500-11BPG400 BA Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF
353-500-I0BPG400规管
353-502-ABPG400规管
354-498Spare electronic BPG400 without Display
354-499Spare electronic BPG400 with Display
353-501BPG400 规管
353-502BPG400 规管
353-503BPG400 BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
353-505复合真空规
353-506BPG400-SP BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
353-507BPG400-SD BA Pirani Gauge; DN25ISO-KF
353-508BPG400-SD BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R


附件

BPG400
零件号明细
353-510100 mm sensor extension tube


353-512Baffle for BPG400

211-113中心圈 with baffle DN 25 KF


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