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设计紧凑的加热式 45°...100°C 电容膜片真空计

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设计紧凑的加热式 45°...100°C 电容膜片真空计

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  • 零件号
  • 耗材

设计紧凑的加热式 45°...100°C 电容膜片真空计

内部火热 - 外观小巧

产品

  • Edge CDG045D2 1 … 1000 托 / 毫巴

  • Edge CDG100D2 1 … 1000 托 / 毫巴


  • 益处

  • 设计紧凑,节省宝贵的工具空间

  • 易于集成,EtherCAT,各种满刻度和法兰,标配两个设定点

  • 轻松一键调零或远程信号调零指令,可调零点偏移

  • 诊断端口用于快速维修和维护

  • 两年保修服务,先进的加热概念和真空计保护延长了使用寿命

  • 卓越的信号稳定性和可重复性,即使是最苛刻的等离子应用,都无需长期执行重新校准

  • 合规性与标准:CE、EN、UL、SEMI、RoHS

  • 典型应用

  • 用于 CVD、刻蚀、PVD 和其他半导体制造过程

规格

类型1000 Torr, 1100 mbar500 。。。 1 Torr / mbar0。5 。。。 0。05Torr / mbar
精度 (1)% of reading0。150。150.15
温度效应


零点percent FS/°C0.00250.00250.005
满量程% of reading / °C0.010。010.01
压力,最大kPa (absolute)400260130
分辨率percent FS0.0030.0030.003
最低读数percent FS0.010.010.01
建议的最低读数percent FS0.050.050.05
建议的最低控制压力percent FS0.50.50。5
温度


运行(环境)°C+10 … +40+10 … +40+10 … +40
在法兰处烘烤°C≤110≤110≤110
贮存°C–20 … +65–20 … +65–20 … +65
电源电压
+14 … +30 VDC or ±15 V (±5%)+14 … +30 VDC or ±15 V (±5%)+14 … +30 VDC or ±15 V (±5%)
功耗


加热时W≤12≤12≤12
运行温度W≤8≤8≤8
输出信号(模拟)V (dc)0 … +100 … +100 … +10
反应时间 (2)ms3030130 / 30 (3)
保护等级
IP 40IP 40IP 40
标准


CE 合规
EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHSEN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS

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