济南园弘光电设备广东11选5走势图
联系人：徐先生
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45°C 电容式膜片真空计
前所未有的满刻度稳定性
产品
SKY® CDG045D 0.05 ...1000Torr / mbar
益处
拥有成本更低,预热速度快 50%,节能,低功耗
易于集成，各种满刻度、法兰和接口，标配两个设定点
轻松一键归零或远程信号归零指令，可调零点偏移
诊断端口便于快速服务与维护
两年保修服务,先进的加热概念和真空计保护延长了使用寿命
卓越的信号稳定性和可重复性，即使是最严苛的等离子应用，都无需长期执行重新校准
合规性和标准：CE、EN、UL、SEMI、RoHS
典型应用
蚀刻、CVD、PVD 及其他半导体生产过程
化学和腐蚀性真空过程
一般薄膜和真空过程
作为基准仪器监控测试仪器是否符合国际标准
符合传递标准，确保测量可追溯性
新闻
现在提供 EtherCAT 数字接口！
1000 Torr, 1100 mbar | 500 ... 1 Torr / mbar | 0.5 ... 0.05Torr / mbar | ||
精度 (1) | % of reading | 0。15 | 0。15 | 0.15 |
温度效应 | ||||
零点 | percent FS/°C | 0.0025 | 0.0025 | 0.005 |
满量程 | % of reading / °C | 0.01 | 0.01 | 0.01 |
压力,最大 | kPa (absolute) | 400 | 260 | 130 |
分辨率 | percent FS | 0.003 | 0。003 | 0.003 |
最低读数 | percent FS | 0.01 | 0。01 | 0.01 |
建议的最低读数 | percent FS | 0。05 | 0.05 | 0.05 |
建议的最低控制压力 | percent FS | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
温度 | ||||
运行（环境） | °C | +10 … +40 | +10 … +40 | +10 … +40 |
在法兰处烘烤 | °C | ≤110 | ≤110 | ≤110 |
贮存 | °C | –20 … +65 | –20 … +65 | –20 … +65 |
电源电压 | +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%) | +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%) | +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%) | |
功耗 | ||||
加热时 | W | ≤12 | ≤12 | ≤12 |
运行温度 | W | ≤8 | ≤8 | ≤8 |
输出信号（模拟） | V (dc) | 0 … +10 | 0 … +10 | 0 … +10 |
反应时间 (2) | ms | 30 | 30 | 130 / 30 (3) |
保护等级 | IP 40 | IP 40 | IP 40 | |
标准 | ||||
CE 合规 | EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS | EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS | ||
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