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45°C 电容式膜片真空计

前所未有的满刻度稳定性

产品

SKY® CDG045D 0.05 ...1000Torr / mbar

Fully compatible with CTR 101 transmitters

拥有成本更低，预热速度快 50%，节能，低功耗

易于集成，各种满刻度、法兰和接口，标配两个设定点

轻松一键归零或远程信号归零指令,可调零点偏移

诊断端口便于快速服务与维护

两年保修服务，先进的加热概念和真空计保护延长了使用寿命

卓越的信号稳定性和可重复性,即使是最严苛的等离子应用,都无需长期执行重新校准

合规性和标准：CE、EN、UL、SEMI、RoHS

典型应用

蚀刻、CVD、PVD 及其他半导体生产过程

化学和腐蚀性真空过程

一般薄膜和真空过程

作为基准仪器监控测试仪器是否符合国际标准

符合传递标准，确保测量可追溯性

新闻

现在提供 EtherCAT 数字接口！

类型

1000 Torr, 1100 mbar	500 ... 1 Torr / mbar	0.5 ... 0.05Torr / mbar
精度 (1)	% of reading	0。15	0.15	0.15
温度效应
零点	percent FS/°C	0。0025	0.0025	0。005
满量程	% of reading / °C	0.01	0。01	0。01
压力，最大	kPa (absolute)	400	260	130
分辨率	percent FS	0。003	0。003	0。003
最低读数	percent FS	0.01	0.01	0.01
建议的最低读数	percent FS	0.05	0。05	0.05
建议的最低控制压力	percent FS	0。5	0。5	0。5
温度
运行（环境）	°C	+10 … +40	+10 … +40	+10 … +40
在法兰处烘烤	°C	≤110	≤110	≤110
贮存	°C	–20 … +65	–20 … +65	–20 … +65
电源电压		+14 … +30 VDC or ±15 V (±5%)	+14 … +30 VDC or ±15 V (±5%)	+14 … +30 VDC or ±15 V (±5%)
功耗
加热时	W	≤12	≤12	≤12
运行温度	W	≤8	≤8	≤8
输出信号（模拟）	V (dc)	0 … +10	0 … +10	0 … +10
反应时间 (2)	ms	30	30	130 / 30 (3)
保护等级		IP 40	IP 40	IP 40
标准
CE 合规		EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS	EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS	<select class="input-small" name="ModelDDL" style="font-size: 21。6px; margin: 0px 0px 0px -8px; vertical-align: middle; lin